Willkommen bei eeplasma
Die eeplasma GmbH wurde 2012 in Taufkirchen / München gegründet.
Unser Hauptgeschäft ist die Ausrüstung von Geräteherstellern für die Halbleiter- und MEMS Produktion mit innovativen, zuverlässigen und sehr servicefreundlichen Mikrowellenplasmaquellen. Unsere remote Plasmaquellen sind die Schlüsselbauteile der Geräte zum Abtrag von Fotolack, zur Oberflächenreinigung und auch für isotrope Ätzprozesse, die für die Halbleiter- und MEMS Produktion verwendet werden.
Die vorzüglichen Eigenschaften unserer Plasmaquellen basieren auf dem langjährigen gründlichen Fachwissen der Firmengründer auf dem Gebiete der Mikrowellenplasma- und Halbleiterprozesstechnologie.
Die eeplasma GmbH unterhält sehr enge Geschäftsbeziehungen zu seinen Kunden und unterstützt sie auch in der Prozesstechnologie und neuen Anwendungsfeldern.
Remote Plasmaquellen
Die eeplasma GmbH kann Sie mit erstklassigen remote Plasmaquellen beliefern für Fotolackveraschung und isotrope Ätzprozesse in der Halbleiterscheibenfertigung und der Halbleitermontage.
Die eeplasma Mikrowellenplasmaquelle hat eine sehr hohe Dissoziationsrate, ein großes Prozessfenster, ein sehr servicefreundliches Design, eine hohe verfügbare Betriebszeit und sehr geringe Betriebskosten.
Unsere Mikrowellenplasmaquellen sind etabliert in vielen Halbleiterunternehmen in Europa, Asien und den Vereinigten Staaten.
Darüber hinaus werden die Geräte für unterschiedliche Ätz- und Reinigungsprozesse in Rolle zu Rolle Verfahren und in der PCB (Printed Circuit Board) Produktion verwendet.